SOI技术的发展动态

摘要：

本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况.

关键词： SOI技术 硅材料 硅集成电路

作者: 林成鲁

作者单位: 中科院上海微系统与信息技术研究所,上海新傲科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 387-392

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）