大尺寸RPP的制作及工艺研究

摘要：

介绍了RPP的制作方法,对其工艺进行了研究.在φ270mm的石英基片上镀铬,甩胶后进行紫外曝光得到光刻胶掩模,然后用硫酸铈和硝酸的混合溶液去除未被光刻胶掩盖部分的铬,最后用49％的HF酸溶液与40％的HN<,4>F溶液以体积比1:5配置的混合溶液对石英基片进行了刻蚀,制作出了随机位相片.并在特定装置上进行了检测,给出了实验结果.

关键词： 随机位相片 光刻 RPP制作工艺

作者: 胡新宁 刘刚 田扬超

作者单位: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 367-369

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）