波长248nm准分子激光对聚碳酸酯(PC)刻蚀性能的研究

摘要：

本文主要针对波长248nm准分子激光对聚碳酸酯(PC polycarbonate)刻蚀性能的实验研究.着重讨论了准分子激光对于该种聚合物的刻蚀机理,并通过对不同能量密度情况下得到的不同刻蚀深度的实验结果进行分析计算,得出聚碳酸酯材料对波长248nm激光的吸收系数及其刻蚀的能量阈值.

关键词： 准分子激光 聚碳酸酯 激光刻蚀

作者: 赵泽宇 侯德胜 董小春 杜春雷

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 358-361

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）