硅基Ge量子点红外探测器的研究

摘要：

量子点中电子和空穴强的量子限制作用使其表现出一些新颖的物理性能,从而在微电子和光电子器件方面有着重要的应用价值.硅基Ge量子点红外探测器更是由于具有对正入射光敏感、响应度高、且易与硅集成电路相容的特点,而成为当今纳米器件研究的一个热点.本文介绍了一种硅基Ge量子点红外探测器的结构、原理、制备及探测性能的简单测试.

关键词： 量子点 红外探测器 光电探测器 光电流

作者: 魏榕山 王吉林 熊晨荣 张磊 邓宁 陈培毅

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 354-357

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）