离子注入掩埋双p-n结波长探测器的研究

摘要：

掩埋双p-n结(BDJ:Buried Double P-n Junction)波长探测器的工作原理是根据不同波长的入射光在硅中的吸收长度不相同,在上下两个p-n结上有不同的光响应.一般是在加反向偏置的情况下,直接测量上下两个p-n结的光电流,得到光电流比值与波长的关系.但由于信噪比低,这种测量方法不利于对弱光的探测.本文的实验证明借助锁相放大技术,通过测量上下两p-n结的光生电压,也可确定波长,而且这种方法更有利于弱光的探测.

关键词： BDJ波长探测器 光伏模式 锁相放大 弱光探测 离子注入

作者: 张秀荣 盛丽艳 韩德俊 张保州

作者单位: 北京师范大学低能核物理研究所 北京师范大学天文系光电仪器厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 346-349

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）