一种实现不同照明方式的光刻机照明系统的研究

摘要：

针对不同图形周期、占空比、方向的微电子器件,采用不同的照明方式能够使光刻机的分辨率和焦深达到最优.本文分析了一种新颖的、能够实现不同照明方式自由调制和切换的193nm准分子光刻机照明系统的原理,并对其组成部分进行了介绍.

关键词： 光刻机 照明系统 衍射光学元件

作者: 郑国兴 杜春雷 冯伯儒

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 326-329

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）