5偏振光离轴照明成像模拟研究

摘要：

矢量衍射理论适用于大数值孔径光学系统中研究照明光的偏振态对成像对比度的影响.本文主要研究了离轴照明下的S偏振光和P偏振光对成像的影响;发现照明光的偏振态严重影响了空间成像,结果表明在大数值孔径的光刻系统中,可以通过调制照明光的偏振态来提高光学系统的分辨率.

关键词： 离轴照明 偏振光 对比度 成像模拟 偏振态 分辨率 光刻

作者: 余国彬 姚汉民 胡松 刘业异

作者单位: 中国科学院光电技术研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 317-320

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）