离轴照明技术(OAI)

摘要：

对用于提高光刻分辨率和改善焦深的离轴照明技术(OAI)作了介绍,对二元振幅滤波型、二元位相光栅型、变透过率滤光弱离轴照明型几种方法的特性及一些关键问题进行了阐述,对离轴照明和HT AttPSM相结合增大MTF进行了研究.

关键词： 光刻技术 离轴照明 分辨率

作者: 张锦 冯伯儒 刘娟 陈宝钦 刘明

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都) 中国科学院微电子中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 300-303

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）