粒子运动轨迹与磁场直拉硅技术中磁场方向的优选

摘要：

从带电运动粒子受磁场的作用出发,在研究了硅粒子团的带电状态后,分析在不同方向的外加磁场中,运动的硅粒子团受磁场作用的情况,研究磁场对硅熔体流动状态的作用结果,得到生长完美晶体所需的外加最有效的磁场是轴向磁场.为MCZ技术提供理论依据.

关键词： 粒子运动轨迹 磁场直拉硅技术 磁场方向 轴向磁场

作者: 张雯 王胜利 付生辉

作者单位: 河北工业大学材料学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 194-196

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）