等离子体上、下基板清洗开艺的摸索

摘要：

该文阐述了彩色等离子体ＰＤＰ上、下基板清洗工艺流程及各种对清洗质量造成影响的因素的解决办法。

关键词： 等离子体 上基板 清洗工艺 纳钙玻璃

作者: 赵志明

作者单位: 交通大学电子物理与器件研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 250～252

在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）