热等离子体化学气相沉积氧化物半导体薄膜及其光学性质

关键词： 等离子体 气相沉积 氧化物半导体 薄膜 光学性质

作者: 唐振方 钟红海 莫党

作者单位: 广州分析测试中心,中山大学物理系 广州分析测试中心 大学物理系(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国凝聚态光学性质学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 97～97

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）