DY-2003生物芯片点样仪重复定位精度的测量

摘要：

生物芯片点样仪是制备生物芯片的较为关键的设备.点样仪是典型的直角坐标机器人,重复精度是其最重要的性能指标.点样仪仅有直线运动,所以它只存在位置不存在姿态;各轴之间没有联动.因此仅测量点样机器人的重复定位精度即可.本文讨论了在实际测量精度时,所采用的方法.

关键词： 点样仪 机器人 重复定位精度 性能指标

作者: 王珺 吴岚军 闫献勇 张春野

作者单位: 中国科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 412-415

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）