微拉伐尔喷管的制作

摘要：

本文介绍了用UV-LIGA技术以及采用硅胶进行封装制作的微拉伐尔喷管,实验证明这种方法制作的微拉伐尔喷管能够满足冷态微拉伐尔喷管实验的要求.

关键词： 微拉伐尔喷管 UV-LIGA技术 硅胶 封装制作 微流动系统 光刻 电镀工艺

作者: 王俊 田扬超 刘刚 陈义良 张根煊

作者单位: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室(安徽合肥) 中国科学技术大学工程热物理系(安徽合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 520-522

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）