真空微电子学与微真空电子器件的新进展

摘要：

近年来真空微电子学发展迅速,在诸多领域有着重要的应用及发展前景.场致发射阴极和微加工技术是真空微电子学研究的核心与手段,而微真空电子器件则是在真空微电子学基础上产生的具有极大潜力的,被誉为”21世纪初最重要的器件之一”.本文对以上作了详尽的阐述.

关键词： 真空微电子学 场致发射阴极 微真空电子器件 微加工技术

作者: 欧阳勤

作者单位: 北京真空电子技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十四届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 丹东

会议语种:中文

页码: 340-343

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）