碳化硅气体传感器

摘要：

本文阐述了碳化硅气体传感顺发展研究的现状和应用领域,并对其前景进行了展望.最后以MISiC肖特基二极管气敏传感器只能进行宏观报警为例,指出碳化硅气体传感器仍需要进一步的完善.

关键词： 碳化硅 碳化硅气体传感器 肖特基二极管

作者: 尹睿 刘玉岭 张元

作者单位: 河北工业大学微电子所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 355-357

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）