实空间电荷转移(RST)器件研究

摘要：

本文在研究分析SiGe材料实空间电荷转移器件(RST)的结构及原理的基础上,基于SiGe材料物理与电学特性建立了该器件的电流-电压特性模型,并进行了模拟分析,结果表明,模拟结果与实验结果符合较好.

关键词： 实空间电荷转移 SiGe材料 电流-电压特性模型 模拟分析

作者: 姜涛 张鹤鸣 戴显英 崔晓英 舒斌 胡辉勇 王喜媛

作者单位: 西安电子科技大学微电子所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 334-339

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）