激光步进加热条件下热驱动泵的实验研究

摘要：

微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战.本文采用激光短脉冲步进式加热方法作用于微通道内的流体,使之发生相变与定向流动.通过对这种热驱流动的技术途径.实验表明,热驱动泵的本质是一种不稳定的气液两相流动,液体的移动与压差和气泡在微通道内的行为有密切联系.

关键词： 激光步进加热 微电子机械系统 热驱动泵

作者: 周虹 刘登瀛 淮秀兰 李化治 孟群

作者单位: 中科院工程热物理所(北京);北京科技大学(北京) 中科院工程热物理所(北京) 北京科技大学(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1173-1176

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）