在Bridgman炉中涡电流检测晶面位置和形状的可行性分析
Bridman生长方法已经广泛的应用于融化时大的单晶体生长计算.在生长过程中液体固体分界面位置和形状对生长控制十分重要但难检测.利用许多半导体材料固体和液体状态的电导率的区别,用涡电流检测对生产控制.本文也对选择相应的固态材料对GaAs生长进行冷态实验进行了可行性分析.
涡电流检测 晶面位置 可行性分析 晶体生长 生长控制 晶面形状
孙学光 黄为民
上海理工大学动力学院
国内会议
北京
中文
417-421
2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）