关键词： 等离子体 氦离子注入 Smart Cut
作者: 邹子英 闵靖
作者单位: 市计量测试技术研究院材料分析室
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 58～60
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）