多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用

摘要：

多孔硅作为一种新型材料,利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性,将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中,作为其电极扩散层.对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究,提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺.

关键词： 微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 电极扩散层 薄膜淀积技术

作者: 王晓红 谢克文 周俊 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 198-201

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）