硅微机械平面电感的衬底效应

摘要：

提出了一种品质因数(Q)的计算方法,分析了对于平面螺旋电感Q值产生决定性影响的各种因素.在微机械电感传统模型的基础上对涡流效应产生的寄生电阻和有损衬底电容进行了细致的研究,并且得到了理论结果.研究结果表明,Q值的大小与几何参数和工作频率均有关.通过理论分析和计算,可以得到结构优化的方法.

关键词： 微机械 电感 硅衬底 涡流效应 寄生效应 集成电路

作者: 董颖 刘泽文 丁勇

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 175-178

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）