纳米晶SnO<,2>薄膜的结晶特性

摘要：

采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O<,2>,在衬底温度为150~400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO<,2>:Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为”110”和”211”方向.测量了SnO<,2>:Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化以及纳米晶SnO<,2>薄膜FE-SEM表面及断面形貌.

关键词： 磁控溅射 纳米晶 结晶特性 二氧化锡 薄膜材料

作者: 王占和 吴海霞 蒋煜婧 邢懋腾 詹杰

作者单位: 北京理工大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 110-112

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）