微纳米薄膜的悬浮腐蚀法

摘要：

介绍了一种腐蚀薄膜的研制方法及其装置.为制备带有各种金属引线及电极的大面积超薄悬浮薄膜(厚度:50~500nm、1~5μm;面积:3mm×2mm、10mm×5mm)提供了一种有效的方法.提高成品率30％,具有装置结构简单、支架体积小、质量轻、易于加工、操作方便、经济耐用、造型可根据器件需要加工设计等优点.

关键词： 纳米薄膜 悬浮腐蚀法 悬浮薄膜

作者: 陈绍凤 夏善红 宋青林 张建刚

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 104-105

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）