基于LTCC基板的薄膜微带线制作技术

摘要：

本文对厚、薄膜多层互连基板的发展进行了简单的分析,对基于LTCC基板的薄膜50Ω微带线的设计、制造、测试进行了介绍.结果表明LTCC基板表面实施薄膜工艺与厚膜工艺相比有利于获得更好的微波一致性.

关键词： 薄膜工艺 薄膜微带线 低温共烧陶瓷基板

作者: 刘刚 王丛香 谢廉忠 张爱华

作者单位: 南京电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国混合集成电路学术会议论文专辑

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 87-90

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）