厚膜成膜工艺中的膜厚控制

摘要：

厚膜成膜工艺中膜厚对成膜质量有重大的影响,本文探讨了膜厚的意义,影响膜厚的工艺因素及在实际工作中采取的控制措施.

关键词： 膜厚成膜工艺 丝网 掩模 粘度 膜厚控制

作者: 夏少军

作者单位: 中国电子科技集团公司第43研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国混合集成电路学术会议论文专辑

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 40-43

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）