扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

摘要：

阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.

关键词： 电压衬度像 充电现象 电子元器件 失效分析

作者: 王全 胡斌 孙静 胡会能

作者单位: 航天材料及工艺研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第四届航空航天装备失效分析研讨会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 328-329

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）