ＩＴＯ玻璃在线等离子体清洗的研究

摘要：

在沉积ＩＴＯ（或Ｓ〈，１〉Ｏ〈，２〉膜之前，通过在线等离子体清洗基片表面，不仅可以获得优良光电特性的ＩＴＯ膜，而且提高了膜层在基片上的附着力。与示经在线等离子体清洗相比，膜层附着力提高了３．５倍。此项成果已在ＩＴＯ膜透明导电玻璃连续生产线上得到应用。

关键词： 等离子体 表面处理 ＩＴＯ膜 附着力

作者: 吴桂初 王德苗 任高潮 陈抗生

作者单位: 师范学院物理系(温州) 大学信息与电子工程系(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 174～176

在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）