等离子体喷射法在石墨衬底上沉积金刚石膜的探讨

摘要：

该文讨论用等离子体喷射方法，在石墨衬底上生长金刚石膜，并和在钼衬底上生长的金刚石膜作了比较；分析了在石墨衬底上生成质量较好的金刚石膜的原因。对在石墨衬底上生成的金刚石膜做了测试分析，Ｘ射线衍射图显示，金刚石膜晶体取向为１１０，热导率达到１４．５Ｗ（ｃｍＫ）〈’－１〉

关键词： 等离子喷涂 薄膜 金刚石膜

作者: 孙振路 郭辉 吴晓波

作者单位: 省科学院机电一体化中试基地(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 634～636

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）