派拉纶薄膜的研究应用

摘要：

派拉纶(Parylene)是一种新型高分子聚合物,在现代科学技术中有多种用途特别是它对软X射线的低吸收率,使它在科学技术中甚为有用,已经广泛应用于条纹相机的研究发展中.本设备为一小型派拉纶成膜设备,操纵方便,控制精确,成膜均匀,用来制备自支撑膜或涂覆膜.

关键词： 派拉纶薄膜(Parylene) 光阴极 条纹相机 软X射线 气相沉积设备

作者: 刘秀琴 白晓红 刘百玉 王琛 任友来 高胜琛 朱文华 白永林

作者单位: 西安光机所瞬态光学技术国家重点实验室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 799-802

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）