射频溅射淀积锥形玻璃窗口红外减反保护膜

摘要：

本文提出了用射频溅射淀积技术沉积SiO<,2>红外减反保护膜的方法,对形状复杂红外罩,用该法能得到热蒸发无法达到的牢固致密薄膜,并给出了其光谱曲线.

关键词： 磁控溅射淀积 减反膜 保护膜 热蒸发 红外光学材料

作者: 苏现军 惠拥涛 魏志儒 何家元

作者单位: 航空工业总公司第014中心(洛阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 769-771

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）