ITO薄膜的光电特性

摘要：

本文对用电子束蒸发镀制的ITO薄膜的光电特性进行了测试,给出了可见光区的光谱特性及作为加热源时的热分布特性,通过对测试数据的拟合得到了电阻随温度变化的公式,该ITO膜的电阻的温度系数是0.0275欧姆每度.

关键词： ITO薄膜 电阻 光电特性 电子束蒸发

作者: 季一勤 宋洪君 宗杰 洪伟 刘华松

作者单位: 航天科工集团三院八三五八所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 711-714

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）