提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究

摘要：

基于提高可见光CCD图像传感器的填充因子和探测灵敏度,对516(H)×516(V)元石英微透镜阵列的设计及制作工艺过程进行了讨论.最后的测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓,较好的几何尺寸均匀性和光学性能,实时有效孔径比达到92.8﹪,大大提高了微透镜阵列的聚光效率.

关键词： 微透镜阵列 填充因子 CCD 反应离子刻蚀 图像传感器

作者: 柯才军 易新建 赖建军

作者单位: 华中科技大学光电系(武汉) 华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 670-674

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）