一种纳米精度偏振干涉仪光学系统的研究

摘要：

本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置.本文对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义.该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠.如果对环境条件进行严格的控制,会得到更好的测量精度,有望实现纳米精度测量.

关键词： 纳米测量 偏振干涉仪 光学细分 光学系统

作者: 郭新军 王霁 严家骅 周自力

作者单位: 北京理工大学光电工程系(北京) 长城计量测试研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 658-662

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）