国内热释电焦平面探测器研制新进展

摘要：

昆明物理研究所于2003年3月成功实现了128×128热释电焦平面探测器的成像演示,国内非制冷焦平面器件研制取得了突破性进展.本文从热释电晶片制备技术、高吸收率吸收结构设计与制作、网格化热隔离技术、铟柱制备技术和倒装互连技术及探测器组件成像演示技术等方面简要介绍了该进展.

关键词： 非制冷 焦平面探测器 热释电 成像演示 网格化热隔离

作者: 太云见 黄承彩 林猷慎 黎力 张丽华 张敏

作者单位: 昆明物理研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 8-11

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）