1064nm激光增强HfO<,2>/SiO<,2>薄膜抗激光损伤研究

摘要：

用1064nm激光实验研究了HfO<,2>/SiO<,2>薄膜的激光损伤增强效应,实验以薄膜激光损伤阈值70﹪的激光能量开始,采用N-ON-1方式处理薄膜,激光脉冲的能量增量为5J/cm<”2>.实验结果表明,激光处理薄膜表面能使激光损伤阈值提高3倍.

关键词： 激光损伤 光学薄膜 抗激光损伤 激光能量密度

作者: 胡建平 马平 许乔

作者单位: 成都精密光学工程研究中心(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 539-541

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）