铁电薄膜热释电非制冷红外探测器研制

摘要：

叙述了铁电薄膜热释电非制冷红外探测器的探测原理,对铁电薄膜材料的要求.研究了BST铁电薄膜热释电红外探测器的制备工艺与测试方法.研制出8元、9元和10元铁电薄膜热释电非制冷红外探测器.

关键词： 铁电薄膜 BST 热释电性 非制冷红外探测器 制备工艺

作者: 刘梅冬 李元昕 陈实 李楚容 曾亦可 姜胜林 邓传益 刘少波

作者单位: 华中科技大学电子科学与技术系(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 49-52

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）