128×1 InSb焦平面探测器的研制

摘要：

研制了一种由光伏线列InSb芯片和Si-CMOS硅处理器混成的中波128元线列焦平面红外探测器.探测器的光电信号分为奇偶两路输出.焦平面探测器组件内装有滤光片和光栏,工作波段为3~5μm.采用J-T效应制冷器,工作温度为77K.128元线列探测器光敏面为50μm×50μm,探测率D<,bb><”*>>1.2×10<”10>cm·Hz<”1/2>·W<”-1>,其响应非均匀性≤±10﹪,读出频率大于2MHz.所研制的128元线列焦平面探测器达到了一定的工程化水平,可以小批量生产供用户使用.

关键词： InSb 探测器 焦平面 红外 硅处理器

作者: 王巍 龚启兵 黄水安

作者单位: 航空工业总公司第零一四中心(洛阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 42-44

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）