微机械光读出热成像系统

摘要：

本文提出了一种新颖的非致冷热成像系统—光读出热成像系统,其焦平面阵列是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成的可动微镜阵列,红外热效应、双材料梁的双金属片效应以及光调制原理是该系统的工作基础.采用体硅MEMS技术,成功地制作出了50×50的可动微镜阵列,芯片尺寸为5.5×5.5mm<”2>.

关键词： 微机电系统(MEMS) 光读出热成像 焦平面阵列 可动微镜

作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 387-389

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）