InSb的氧化膜研究

摘要：

在诸多影响红外探测器性能稳定性的因素中,InSb表面的自然氧化是其中的一种,本文通过XPS和SAMAuger对InSb表面的氧化物含量与接触空气时间的关系以及各元素氧化物价态作了初步的分析.

关键词： InSb 氧化膜 探测器 红外探测器 价态

作者: 董硕 雷静

作者单位: 华北光电技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 38-41

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）