HgCdTe的CdTe钝化介质层对其倒易二维点阵图的影响

摘要：

用倒易二维点阵图进行了用溅射CdTe的方法钝化HgCdTe前后晶体结晶度的变化,发现在较高溅射能量下,HgCdTe的晶面出现弯曲,有少量mosaic结构出现,随着钝化厚度的增加,晶面出现严重弯曲,并且出现大量mosaic结构,而在较低的溅射能量下沉积可获得较高的晶体完整度.

关键词： HgCdTe 钝化 倒易二维点阵 光伏探测器

作者: 孙涛 陈兴国 胡晓宁 李言谨

作者单位: 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 195-196

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）