128×128混合式非制冷热释电焦平面铟柱制备技术研究

摘要：

本文从铟膜制备、铟柱成形两方面介绍了一种铟柱制备工艺.采用该工艺可制备满足128×128混合式非制冷热释电焦平面器件倒装互连的铟柱.

关键词： 非制冷焦平面阵列 混合式 铟柱制备 铟膜制备

作者: 杨春丽 黄江平

作者单位: 昆明物理研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 154-156

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）