非制冷红外微测辐射热计用热敏电阻研究

摘要：

本文研究了用于微测辐射热计热敏电阻薄膜材料的热敏特性,指出混合相氧化钒多晶薄膜是用作红外探测器热敏电阻的理想材料,并采用一种先进的离子束溅射镀膜工艺在氮化硅薄膜上制备了混合相氧化钒多晶薄膜,测试结果表明:薄膜的方块电阻在25℃为40KΩ,电阻温度系数(TCR)在室温时达到-0.03K<”-1>.

关键词： 非制冷微测辐射热计 红外探测器 热敏材料 氧化钒薄膜

作者: 王宏臣 易新建 黄光 肖静 陈四海

作者单位: 华中科技大学激光国家重点实验室(武汉);华中科技大学光电子工程系(武汉) 华中科技大学光电子工程系(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 134-137

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）