外延HgCdTe薄膜材料的热处理

摘要：

回顾了三种主要外延技术即:LPE、VPE(MOVPE、ISOVPE)和MBE生长的外延HgCdTe薄膜材料在各种不同条件热处理的实验结果,总结了热处理过程对薄膜材料产生的各种影响.

关键词： HgCdTe外延薄膜 热处理 电学参数 杂质 缺陷

作者: 孔金丞 马庆华 陈建才 吴军 杨宇 姬荣斌

作者单位: 云南大学材料科学与工程系(昆明);昆明物理研究所(昆明) 昆明物理研究所(昆明) 云南大学材料科学与工程系(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 125-127

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）