液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性的改善

摘要：

用水平推舟的方法以固态HgTe替代液态Hg补偿源,在CdZnTe衬底上从富Te溶液中外延生长出组分均匀的HgCdTe薄膜.采用红外透射法测量薄膜的组分及截止波长,并利用光学显微镜小光点系统辅之于机械扫描机构对薄膜的微小区域进行扫描测量.测试薄膜的面积为22×28mm<”2>,Δx=±0.002,得出的结论是薄膜的组分均匀性和重要性都很好.

关键词： 固态HgTe LPE 红外透射法 三元系半导体材料 液相外延 HgCdTe薄膜

作者: 马庆华 陈建才 吴军 孔金丞 杨宇 姬荣斌

作者单位: 云南大学材料科学与工程系(昆明);昆明物理研究所(昆明) 昆明物理研究所(昆明) 云南大学材料科学与工程系(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 118-120

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）