MOCVD法生长ZnO/GaN/Al<,2>O<,3>多层结构

摘要：

本文采用我们自行设计组装具有自主知识产权的等离子体辅助MOCVD系统,以DEZn和O<,2>为生长源,在外延的GaN/Al<,2>O<,3>薄膜上生长出高质量的ZnO薄膜.

关键词： ZnO薄膜 MOCVD 多层结构 X光衍射 光致发光谱

作者: 杨洪军 赵佰军 杜国同 杨小天 张源涛 候小珂 马艳 刘博阳 方秀军 李万成 刘大力

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点联合实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 82-83

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）