专为固态源设计之源瓶

摘要：

我们设计了一种专为固态源使用的新式源瓶,其中舍弃了传统的导流管,同时加入了特殊的不锈钢筛.我们发现了一个载入100克三甲基铟的固态源瓶可提供超过总数相当于93克的饱和蒸气.我们也针对其它固态源进行实验,例如:二茂镁和四溴化碳,测试结果和三甲基铟相同.

关键词： 固态源 源瓶 导流管 穿遂效应

作者: 廖明智

作者单位: 美国希普励公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 7-7

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）