火焰水解法快速生长硅基二氧化硅厚膜波导材料
本文采用的火焰水解法,其工艺具有成膜速度快,能制作厚膜,设备简单,易于操作等优点.实验中,利用自制的火焰水解法淀积二氧化硅设备,在硅片上快速淀积结构疏松的无定形态二氧化硅厚膜材料,然后将该材料分别在真空中高温致密化处理,获得了膜厚达40微米以上的二氧化硅材料,该材料具有膜厚均匀,光滑透明和玻璃态等优点,并利用XRD和电子显微镜等仪器对二氧化硅膜的表面和膜厚进行了测试分析,获得了光滑透明的玻璃态的二氧化硅厚膜材料.
列阵波导光栅 波分复用器 火焰水解法 硅基二氧化硅厚膜
郑伟 吴远大 张乐天 邢华 李爱武 钱颖 张玉书
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春市)
国内会议
牡丹江
中文
65-65
2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）