Polymer/Si AWG器件抛光工艺研究

摘要：

本文利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙酸缩水甘油酯共聚物研制AWG波分复用器,对器件的抛光工艺进行了研究.器件的端面抛光是AWG在耦合封装时的一个重要步骤,如果解决不好,会严重影响器件的参数.本文通过试验筛选研抛材料及参数,分析抛光工艺存在的问题并进行了较好的解决.

关键词： 列阵波导光栅 聚合物薄膜 波分复用器 耦合封装

作者: 张大明 张玉国 赵禹 王菲 崔占臣 刘式墉 衣茂斌

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春) 吉林北方彩晶数码电子有限公司(长春) 吉林大学化学学院(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 63-64

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）