Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

摘要：

本文使用WVASE32型椭偏仪,主要针对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析;对PMMA材料和氟化聚酯材料进行测量,根据测量结果对AWG器件进行了设计;同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

关键词： 列阵波导光栅 聚合物薄膜 光学系数 多层有机薄膜 氟化聚合物薄膜 阵列波导光栅器件 椭圆偏振测量

作者: 姜文海 赵禹 王菲 崔占臣 张大明 刘式墉 衣茂斌

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春) 吉林大学化学学院(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 61-62

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）