MOCVD技术简述以及一种生长ZnO、ZnS薄膜用的小型MOCVD设备的研制

摘要：

本文对LPE、VPE、MBE、MOCVD技术的特点、局限性进行了一定比较;简要论述了MOCVD的反应动力学原理以及反应过程;讲述了制作一台完备的MOCVD设备所需各组成部件的要求、特点、结构.同时介绍了一种适用于ZnO、ZnS膜生长的小型MOCVD设备的制作原理、机械结构等;此台设备是根据我们自身的工作和实验条件,自行研制组装的.

关键词： 金属有机化学气相淀积 反应动力学 氧化锌膜 硫化锌薄膜 MOCVD设备

作者: 郑凯 马骁宇 张迎春 安琪

作者单位: 中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心 北京北仪创新真空技术有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 33-37

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）